真空系統(tǒng)獲得真空的過(guò)程稱(chēng)為抽真空,也叫做抽氣或排氣。在規(guī)定的氣壓下單位時(shí)間抽出的氣體體積稱(chēng)為抽氣速率，即抽速.也可以叫做泵速，單位是L/S.泵或某一真空系統(tǒng)在排氣足夠長(zhǎng)的時(shí)問(wèn)后所能達(dá)到的最低氣壓稱(chēng)為極限真空度.

稀油金屬冶金要求高真空條件.因此常使用機(jī)械泵和擴(kuò)散泵配置成的高真空機(jī)組成套設(shè)備.用機(jī)械泵和增壓泵串聯(lián)可抽真空至10-6Pa.欲進(jìn)一步提高真空度，還可在工作系統(tǒng)中放針吸附劑或安裝冷阱，將泵沒(méi)有抽走的氣體吸附或冷凝下來(lái).有時(shí)還增設(shè)一級(jí)機(jī)械增壓泵與機(jī)組串聯(lián)或并聯(lián)，以提高一定真空范圍內(nèi)的抽氣能力。

在高真空機(jī)組中.機(jī)械泵能使氣壓從一個(gè)大氣壓開(kāi)始變小，稱(chēng)為前級(jí)泵;擴(kuò)散泵只能從較低的氣壓抽到更低的氣壓.稱(chēng)為次級(jí)泵。次級(jí)泵開(kāi)始工作的氣壓稱(chēng)之為預(yù)備真空或前級(jí)真空。每種真空泵的最佳抽速均與一定的入口壓強(qiáng)相對(duì)應(yīng).因此.必須合理配俊真空機(jī)組，才能獲得最佳的真空效益.而一個(gè)不合理的的配置不僅會(huì)造成浪費(fèi)，也導(dǎo)致其空系統(tǒng)的真空度達(dá)不到預(yù)期要求。
真空機(jī)組的合理配置應(yīng)解決好如下幾個(gè)主要問(wèn)題:

1)根據(jù)真空設(shè)備產(chǎn)生的氣體量、工作壓強(qiáng)、極限其空度及抽氣時(shí)間等要求，選擇主泵的類(lèi)型.確定管路及選配真空元件;

2)選配好主泵后，計(jì)算真空設(shè)備的抽氣時(shí)間及達(dá)到的壓強(qiáng);

3)了解真空泵的荃本參數(shù)與導(dǎo)管的通過(guò)能力的關(guān)系等.