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回旋質(zhì)譜計的特點與發(fā)展
回旋質(zhì)譜計的突出優(yōu)點是:零件少;電極薄;體積小;其電極可用高頻加熱除氣，因而放氣少;幾乎沒有“記憶效應(yīng)”。特別適宜對超高真空小體積作殘氣分析。
回旋質(zhì)譜計的缺點是:需用磁場;操作不便;不能用電子倍增器檢測，使最小可檢分壓力受到限制;質(zhì)標(biāo)非線性;譜線自動記錄復(fù)雜。
回旋質(zhì)譜計的基本原理是由希普爾(Ripple)等在1949年提出的。托馬斯(Thomas)等在1951年首次制成質(zhì)譜計。1954年阿爾伯特(Alpert)等制成簡單型回旋質(zhì)譜計，并用來分析超高真空下的殘余氣體，大大地推進(jìn)了超高真空技術(shù)的發(fā)展。國外許多工作者也報道了簡單型回旋質(zhì)譜計的性能研究結(jié)果。1960年克洛普弗(Klopfer)研制了一種可以去除非共振離子空間電荷影響的復(fù)雜型回旋質(zhì)譜計。質(zhì)譜計的靈敏度可保持在10%范圍內(nèi)不變，使定量分析成
為可能。這種質(zhì)譜計的缺點是結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜、參數(shù)調(diào)整困難、內(nèi)部電極不易徹底除氣。許多使用者對簡單型回旋質(zhì)譜計的定量分析精度極為關(guān)心。我國蘭州物理研究所對簡單型回旋質(zhì)譜計的定童特性作了深人研究。研究結(jié)果表明，只要參數(shù)選擇適當(dāng)，簡單型回旋質(zhì)譜計的靈敏度的重復(fù)性可保持在20%以內(nèi)(包括長期工作后靈敏度的穩(wěn)定性和各管間靈敏度的重復(fù)性)，是能滿足一定要求的定量分析工作的。為了改善回旋質(zhì)譜計的分辨本領(lǐng)，從而發(fā)明了掩埋離子收集極式回旋質(zhì)譜計。這種質(zhì)譜計的分辨本領(lǐng)幾乎要比具有相同磁場強度的傳統(tǒng)回旋質(zhì)譜計高一個數(shù)量級。其原理是，利用非共振離子在收集極附近的軌道半徑的增量小于共振離子的半徑增量的特性，在掩埋收集極前留一定寬度的空隙，不讓非共振離子打上收集極，從而提高了儀器的分辨本領(lǐng)。
我國研制回旋質(zhì)譜計的情況是:1960年首次由成都電訊工程學(xué)院研制成功，1963年中國科學(xué)院電子研究所對簡單型回旋質(zhì)譜計的工作特性進(jìn)行了詳細(xì)的研究，1965年中國科學(xué)院蘭州物理研究所研制出定童精度為20%的簡單型回旋質(zhì)譜計的成套設(shè)備。此外，南開大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、北京電子管廠、虹光電子管廠和華東電子管廠等單位對回旋質(zhì)譜計的理論、結(jié)構(gòu)和應(yīng)用都做了很多工作。
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