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分子真空泵（簡稱分子泵）是1913年是德國人蓋得（W.Gaede）首先發(fā)明的。他又以氣體的外摩擦作用為分子泵奠定了理論基礎。

雖然分子泵是一種機械泵,但它已經擺脫了那種靠容積變化來抽氣的容積泵原理，而是靠高速運動的剛體表面來攜帶氣體分子實現抽

氣的一種新型機械真空泵。通常把高速剛體表面攜帶氣體分子按一定方向運動的現象成為分子牽引，或稱為氣體的外摩擦輸運現象

。因此，人們把蓋得發(fā)明的分子泵稱為牽引分子泵。這種泵具有啟動時間短，抽重氣體比抽輕氣體快等一系列優(yōu)點。但由于它的密

封間隙小，容易引起機械故障以及加工精度要求高等，除特殊需要外，實際上很少應用，曾有些人做過不少改進，出現過幾種不同

類型的牽引分子泵，但因為抽速低沒有推廣應用，曾一度被結構簡單的擴散泵所代替。

德國人貝克（W.Becker）1956年發(fā)明了一種適于超高真空下工作的渦輪分子泵。這種泵和牽引分子泵相比，在結構和原理方面并不

完全相同。渦輪分子泵是以高速旋動的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵的極限壓力可以達到10-9帕以下，對

油蒸汽等高分子量氣體的壓縮比很高，幾乎能達到測不出的程度。因而殘余氣體中油蒸汽的分壓力很低。由于軸承用的潤滑油僅在

泵的出口側存在，故泵在運轉過程中入口處檢查不出油的痕跡。因此，渦輪分子泵可以獲得清潔無油的超高真空。這種泵如果長期

不用，軸承處的油蒸汽會擴散到泵的入口側，降低泵所能達到的清潔程度。為了消除油蒸汽的污染，在工作時，須對泵的入口進行

烘烤除氣，烘烤溫度要嚴格控制，過高會使葉片變形。有的在停泵時，用壓力為13hPa的干燥氣體充入泵內，以消除油蒸汽返流造成

的污染。