一般的高真空系統(tǒng)均須采用真空機組以獲得足夠高的真空。最簡單的真空機組為多級擴散泵或渦輪分子泵(作為主泵)與機械泵(作為前置泵)等串聯(lián)。在多泵串聯(lián)使用時，不但極限真空要有一定的要求，抽速之間也應(yīng)有合理的配合，以充分發(fā)揮各泵的效能。各泵之間的關(guān)系，可根據(jù)穩(wěn)定流動下，流量恒定關(guān)系來確定。

設(shè)S1為主泵的抽速，S2為前置泵的抽速，p1為工作時主泵的進口壓強，P2為前置泵的進口壓強。則主泵的抽除量為p1S1，前置泵的抽除量為P2S2。穩(wěn)定流動時，兩者相等，故有：p1S1=p2S2