（1）氣流      

真空系統(tǒng)用真空泵抽氣，氣體經(jīng)管道流到泵里。抽氣不斷進(jìn)行，系統(tǒng)中的壓強(qiáng)由高而低，氣體分子的自由程由小而大。由以分子間碰撞為主逐漸改變?yōu)橐苑肿优c器壁碰撞為主。在此過(guò)程中氣流性質(zhì)出現(xiàn)階段性的轉(zhuǎn)變。成黏滯流(湍流、層流)，黏滯-分子流(又稱過(guò)渡流)和分子流，不同性質(zhì)的氣流流過(guò)真空系統(tǒng)的阻力各異.

（2）層流

氣體分子間的碰撞數(shù)多于與容器壁的碰撞數(shù)，內(nèi)摩擦力起主要作用，氣體的黏度影響著流速，氣體的流線呈直線，層流管壁附件的氣體幾乎不動(dòng)，管道中心的流速最大。

（3）分子流

氣體分子的內(nèi)摩擦力已不存在，這時(shí)氣體分子獨(dú)立而自由地通過(guò)管道的氣體量與管道兩端的壓差成正比。

(4)黏滯-分子流

界于黏滯流與分子流之間的氣流，除發(fā)生氣體內(nèi)摩擦之外還有個(gè)別分子獨(dú)立的(無(wú)碰撞的)熱運(yùn)動(dòng)的氣流。